Система с фокусированным ионным пучком V400CE™ FEI Company

v400ce

V400CE™ - высокопроизводительная, высокоскоростная, высокопрецизионная система для анализа, обработки и визуализации поверхности образцов с возможностью модификации и нанофабрикации микроэлектронных компонентов как на поверхности образца, так и с обратной стороны; возможность быстрого анализа дефектов и отказов:
  • высокопроизводительный генератор образа для ионно- лучевой литографии;
  • высокопрецизионный 5-ти осевой столик с пьезо- приводом;
  • инновационная ионная колонна Tomohavk с разрешением - не менее 4,5 нм;
  • ICE детектор вторичных ионов и электронов;
  • система подачи процессных газов для системы газовой инжекции;
  • быстрое, точное получение срезов позволяет обнаруживать дефекты и подповерхностную структуру;
  • быстрая пробоподготовка и 3-D реконструкция.