Ультра универсальный SEM с высоким разрешением и уникальными возможностями в режиме «Естественной среды» Thermo Scientific ™ Quattro SEM сочетает в себе всесторонние характеристики обработки изображений и аналитики с уникальным режимом естественной среды (ESEM), который позволяет исследовать образцы в их естественном состоянии, минуя большинство этапов пробоподготовки.
Полевая эмиссионная пушка Quattro (FEG) обеспечивает отличное разрешение, а настраиваемый контраст обеспечивается широчайшим выбором детекторов, включающим обратное рассеяния электронов, STEM и катодолюминесценцию. Одновременный сбор и компоновка изображений с нескольких детекторов позволяет получать разнородную информацию об образцах всего за одно сканирование, уменьшая экспозицию луча для чувствительных образцов и позволяя проводить настоящие динамические эксперименты. Три вакуумных режима Quattro (высокий вакуум, низкий вакуум и ESEM ™) обеспечивают гибкость, приспосабливая к самому широкому диапазону образцов, включая образцы, которые выделяют газ или иным образом не совместимы с вакуумом.
Уникальный интерфейс Quattro поддерживает функцию «Проводник пользователя», которая не только инструктирует, но и напрямую взаимодействует с микроскопом. А благодаря функции «Отменить», начинающие пользователи могут больше экспериментировать, а опытные пользователи легче находят правильные решения.
Большой выбор детекторов последнего поколения, выпускаемых компанией Termofischer, позволит в будущем переоснащать микроскоп для выполнения новых задач. Видеоинтерфейс микроскопа способен обрабатывать вплоть до четырех сигналов одновременно, что в разы ускоряет сбор информации, уменьшает разрушение объекта и позволяет получить качественно новое представление об объекте.
Cовместимые с Quattro детекторы:
• ETD – детектор вторичных электронов Еверхарта-Торнли
• LVD – детектор вторичных электронов для режима «низкий вакуум»
• GaseousSED (GSED) – детектор вторичных электронов для режима «Естественная среда»
• IRcamera – инфракрасная камера для ориентации объекта в вакуумной камера
• Nav-Cam™ – цветная видеокамера для навигации по объекту
• DBS – быстросъемный детектор обратно-рассеянных электронов
• DBS-GAD – детектор обратно-рассеянных электронов адаптированный для микроанализа
• STEM 3+ – быстросъемный сегментированный STEM детектор для исследования образцов в режиме сканирующей просвечивающей микроскопии (BF, 4 DF, 6 HADF). В режиме STEM разрешающая способность микроскопа – 0,8 нм при 30 киловольтах ускоряющего напряжения.
• WetSTEM™ – быстросъемный STEM детектор для исследования влажных образцов в режиме сканирующей просвечивающей микроскопии
• RGB-CLD – детектор для получения цветных изображений при катодолюминесценции
• In-columndetector (ICD) – встроенный в колонну детектор для работы в режиме «торможения первичных электронов»
Технические характеристики:
| Разрешающая способность | |||
| Режимы вакуума | «Высокий вакуум» | «Низкий вакуум» | «Естественная среда» |
|
0.8 nm @ 30 kV (STEM) 1.0 nm @ 30 kV (SE) 2.5 nm @ 30 kV (BSE) 3.0 nm @ 1 kV (SE) |
3.0 nm @ 1 kV (BD mode* + BSED*) 2.1 nm @ 1 kV (BD mode* + ICD*) 3.1 nm @ 200 V (BD mode* + ICD*) |
1.3 nm @ 30 kV (SE) | |
• Диапазон тока луча: от 1 до 200 нА
• Диапазон ускоряющего напряжения: 200 В - 30 кВ
• Диапазон энергии «посадки»: 20 эВ - 30 кэВ с опцией замедления первичных электронов
• Аналитическое рабочее расстояние: 10 мм
• Безмасляная вакуумная система. Время откачки – 3,5 минуты.