Quattro ESEM™ компании Thermo Scientific ™

Просмотров: 2725

SEM        Ультра универсальный SEM с высоким разрешением и уникальными возможностями в режиме «Естественной среды» Thermo Scientific ™ Quattro SEM сочетает в себе всесторонние характеристики обработки изображений и аналитики с уникальным режимом естественной среды (ESEM), который позволяет исследовать образцы в их естественном состоянии, минуя большинство этапов пробоподготовки.

Полевая эмиссионная пушка Quattro (FEG) обеспечивает отличное разрешение, а настраиваемый контраст обеспечивается широчайшим выбором детекторов, включающим обратное рассеяния электронов, STEM и катодолюминесценцию. Одновременный сбор и компоновка изображений с нескольких детекторов позволяет получать разнородную информацию об образцах всего за одно сканирование, уменьшая экспозицию луча для чувствительных образцов и позволяя проводить настоящие динамические эксперименты. Три вакуумных режима Quattro (высокий вакуум, низкий вакуум и ESEM ™) обеспечивают гибкость, приспосабливая к самому широкому диапазону образцов, включая образцы, которые выделяют газ или иным образом не совместимы с вакуумом.

Уникальный интерфейс Quattro поддерживает функцию «Проводник пользователя», которая не только инструктирует, но и напрямую взаимодействует с микроскопом. А благодаря функции «Отменить», начинающие пользователи могут больше экспериментировать, а опытные пользователи легче находят правильные решения.

Большой выбор детекторов последнего поколения, выпускаемых компанией Termofischer, позволит в будущем переоснащать микроскоп для выполнения новых задач. Видеоинтерфейс микроскопа способен обрабатывать вплоть до четырех сигналов одновременно, что в разы ускоряет сбор информации, уменьшает разрушение объекта и позволяет получить качественно новое представление об объекте.

Cовместимые с Quattro детекторы:

ETD – детектор вторичных электронов Еверхарта-Торнли

LVD – детектор вторичных электронов для режима «низкий вакуум»

GaseousSED (GSED) – детектор вторичных электронов для режима «Естественная среда»

IRcamera – инфракрасная камера для ориентации объекта в вакуумной камера

Nav-Cam™ – цветная видеокамера для навигации по объекту

DBS – быстросъемный детектор обратно-рассеянных электронов

DBS-GAD – детектор обратно-рассеянных электронов адаптированный для микроанализа

STEM 3+ – быстросъемный сегментированный STEM детектор для исследования образцов в режиме сканирующей просвечивающей микроскопии (BF, 4 DF, 6 HADF). В режиме STEM разрешающая способность микроскопа – 0,8 нм при 30 киловольтах ускоряющего напряжения.

WetSTEM™ – быстросъемный STEM детектор для исследования влажных образцов в режиме сканирующей просвечивающей микроскопии

RGB-CLD – детектор для получения цветных изображений при катодолюминесценции

In-columndetector (ICD) – встроенный в колонну детектор для работы в режиме «торможения первичных электронов»


SEM micro


 Технические характеристики:

 

Разрешающая способность
Режимы вакуума «Высокий вакуум» «Низкий вакуум» «Естественная среда»

0.8 nm @ 30 kV (STEM)

1.0 nm @ 30 kV (SE)

2.5 nm @ 30 kV (BSE)

3.0 nm @ 1 kV (SE)

3.0 nm @ 1 kV (BD mode* + BSED*)

2.1 nm @ 1 kV (BD mode* + ICD*)

3.1 nm @ 200 V (BD mode* + ICD*)

1.3 nm @ 30 kV (SE)

 

• Диапазон тока луча: от 1 до 200 нА

• Диапазон ускоряющего напряжения: 200 В - 30 кВ

• Диапазон энергии «посадки»: 20 эВ - 30 кэВ с опцией замедления первичных электронов

• Аналитическое рабочее расстояние: 10 мм

• Безмасляная вакуумная система. Время откачки – 3,5 минуты.