Metrios ™ DX TEM компании Thermo Scientific ™

Просмотров: 2598

Metrios DX TEM

MetriosTEM

 

          Metrios DX - это высокостабильный просвечивающий электронный микроскоп на 80-200 кВ, разработанный для обеспечения воспроизводимых результатов метрологии, аналитики и измерения, с беспрецедентным уровнем пропускной способности.

Metrios DX TEM 1

Благодаря уникальной комбинации проверенной технологии и новых инновационных функций, Thermo Scientific ™ Metrios ™ DX TEM является платформой выбора для исследований в области полупроводников.

 

Metrios DX TEM был разработан для предоставления данных в формате «точный результат с первого раза». При гораздо более низкой стоимости образца по сравнению с обычными системами STEM, Metrios DX TEM обеспечивает максимальную пропускную способность при минимальном повреждении объекта. Эксклюзивный телесный угол 1,8 градуса системы EDS Thermo Scientific Dual-X ™ удваивает количество рентгеновских лучей по сравнению с системой Super-X.

Автоматический корректор аберраций сохраняет стабильность аберраций 3-го и более высокого порядка более 1 недели, полностью автоматизируя весь юстировочный процесс.

Благодаря полной автоматизации при 80 кВ Metrios DX TEM обеспечивает четырехкратное повышение пропускной способности EDS, в то же время существенно снижая повреждение объекта по сравнению с Super-X, работающим при 200 кВ.

 

Дополнительные возможности:

• Ультраустойчивая полевая эмиссионная пушка Шоттки с высокой яркостью X-FEG

• Гибкий диапазон высокого напряжения: от 80 до 200 кВ (80, 120, 200 кВ)

• Всестороннее изолирующее ограждение для смягчения требований к акустическим колебаниям и комнатной температуре

• Конструкция объектива Thermo Scientific ConstantPower ™ для максимальной термостабильности при переключении режимов

• Симметричная линза объектива с зазором между полюсами шириной 5,6 мм: «пространство, чтобы делать больше»

• Полностью цифровая система со SmartCam для удобной навигации и работы в нормально освещенном помещении.

• Автоматические апертуры для автоматической работы и воспроизводимого повторного вызова позиций диафрагмы во время смены диафрагмы.

• Компьютеризированный 5-осевой пьезостол для точного вызова сохраненных позиций, отслеживания областей, посещенных во время поиска, точной фокусировки и минимизации дрейфа образца. Точностью центрирования интересующего объекта в поле зрения до 20 пикометров.

• Диапазон наклона ± 40 градусов по альфа и ± 30 градусов по бета-версии для стандартного держателя двойного наклона Metrios TEM обеспечивает правильную ориентацию подложки образца

• Новый дизайн холодных ловушек на срок до одной недели, чтобы максимизировать время безотказной работы с новой и удобной опцией быстрого заполнения

• Cs-корректор может быть добавлен в качестве опции.

 

  Metrios DX
Ускоряющее напряжение, kV 80-200
Источник ускоренных электронов Улучшенный полевой катод Шоттки, XFEG
Информационный предел ≤ 0.11нм
  без Cs-корректора с Cs-корректором
Разрешение STEM ≤ 0.164 нм ≤ 0.083 нм