Система газовой инжекции OmniGIS® компании Omniprobe

omnigis

Система газовой инжекции OmniGIS® производства компании Omniprobe является одной из наиболее совершенных на сегодняшний день системой газовых инжекторов, позволяющей производить выборочное травление материала и осуществлять депозицию проводников и диэлектриков.
Основными преимуществами системы газовой инжекции  OmniGIS®  являются:
  • осуществление контролируемой доставки нескольких металлоорганических соединений и газов-носителей, занимая при этом всего один порт микроскопа и используя один  инжектор для всех газов;
  • совместимость практически со всеми имеющимися моделями ионно-лучевых и электронно-лучевых растровых микроскопов;
  • обладание тремя прекурсорами, двумя штуцерами для подачи инертного газа и единой иглой-зондом;
  • наиболее совершенный на сегодняшний день газовый инжектор
 
Система газовой инжекции OmniGIS® применяется для:
  • напыления предохранительного слоя;
  • приготовления образцов для TEM;
  • модификации интегральных схем;
  • электронно-лучевой литографии;
  • напыление слоя толщиной в один атом;
  • доставка самоорганизующихся монослоев внутрь микроскопа in situ;
  • электрическая проверка структур;
  • перемещение нанонитей.