Система газовой инжекции OmniGIS® производства компании Omniprobe является одной из наиболее совершенных на сегодняшний день системой газовых инжекторов, позволяющей производить выборочное травление материала и осуществлять депозицию проводников и диэлектриков.
Основными преимуществами системы газовой инжекции OmniGIS® являются:
осуществление контролируемой доставки нескольких металлоорганических соединений и газов-носителей, занимая при этом всего один порт микроскопа и используя один инжектор для всех газов;
совместимость практически со всеми имеющимися моделями ионно-лучевых и электронно-лучевых растровых микроскопов;
обладание тремя прекурсорами, двумя штуцерами для подачи инертного газа и единой иглой-зондом;
наиболее совершенный на сегодняшний день газовый инжектор
Система газовой инжекции OmniGIS® применяется для:
напыления предохранительного слоя;
приготовления образцов для TEM;
модификации интегральных схем;
электронно-лучевой литографии;
напыление слоя толщиной в один атом;
доставка самоорганизующихся монослоев внутрь микроскопа in situ;